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技術(shù)文章 / article
在半導(dǎo)體芯片可靠性測(cè)試體系中,高頻電磁振動(dòng)臺(tái)作為核心裝備,需模擬芯片從生產(chǎn)、運(yùn)輸?shù)綉?yīng)用全生命周期的振動(dòng)環(huán)境。而 “全溫域適配" 作為關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo),并非額外要求,而是保障測(cè)試數(shù)據(jù)有效性、貼合芯片實(shí)際工況的核心前提,其必要性可從芯片應(yīng)用場(chǎng)景、測(cè)試準(zhǔn)確性及設(shè)備性能穩(wěn)定性三方面深度解析。
從半導(dǎo)體芯片的實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景來(lái)看,全溫域適配是模擬真實(shí)環(huán)境的基礎(chǔ)。無(wú)論是車規(guī)級(jí)芯片需耐受 - 40℃~125℃的車載溫差,還是工業(yè)級(jí)芯片面臨 - 20℃~85℃的工況波動(dòng),亦或是航空航天級(jí)芯片遭遇 - 55℃~150℃的寬溫挑戰(zhàn),芯片在服役過(guò)程中始終處于溫度動(dòng)態(tài)變化狀態(tài)。高頻電磁振動(dòng)臺(tái)若僅能在常溫下運(yùn)行,無(wú)法復(fù)現(xiàn) “低溫冷啟動(dòng)振動(dòng)"“高溫持續(xù)振動(dòng)" 等復(fù)合場(chǎng)景,導(dǎo)致測(cè)試結(jié)果與實(shí)際應(yīng)用脫節(jié)。例如,車規(guī)芯片在 - 30℃低溫環(huán)境下,封裝材料會(huì)因熱脹冷縮產(chǎn)生脆性變化,此時(shí)疊加 2000Hz 高頻振動(dòng),極易出現(xiàn)引腳斷裂隱患,若高頻電磁振動(dòng)臺(tái)缺乏低溫適配能力,這類潛在風(fēng)險(xiǎn)將無(wú)法被檢出。
從測(cè)試準(zhǔn)確性角度分析,溫度變化直接影響高頻電磁振動(dòng)臺(tái)的測(cè)試精度與芯片性能表現(xiàn)。一方面,高頻電磁振動(dòng)臺(tái)的核心部件如永磁體、激振線圈受溫度影響顯著:溫度每波動(dòng) 10℃,永磁體磁通量可能變化 2%~3%,導(dǎo)致振動(dòng)加速度輸出偏差超 5%,而全溫域適配技術(shù)通過(guò)內(nèi)置溫度補(bǔ)償模塊,可實(shí)時(shí)校準(zhǔn)磁路參數(shù),將加速度波動(dòng)控制在 ±1% 以內(nèi)。另一方面,芯片自身的電學(xué)性能隨溫度變化明顯,如低溫下芯片內(nèi)阻增大、高溫下漏電電流上升,若高頻電磁振動(dòng)臺(tái)無(wú)法同步控制溫度,僅單獨(dú)測(cè)試振動(dòng)可靠性,將無(wú)法準(zhǔn)確評(píng)估 “溫度 - 振動(dòng)" 耦合作用下的芯片失效風(fēng)險(xiǎn),可能導(dǎo)致合格芯片誤判或不良芯片漏檢。