在新材料研發(fā)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域，材料氧化問題嚴(yán)重制約產(chǎn)品性能提升與壽命延長。抗氧化真空烤箱作為關(guān)鍵設(shè)備，傳統(tǒng)單一真空或充氮模式難以兼顧高效防氧化與節(jié)能需求。充氮 + 真空雙模式防護(hù)技術(shù)的出現(xiàn)，通過創(chuàng)新的氣氛調(diào)控與能耗優(yōu)化策略，為材料熱處理提供了更優(yōu)解決方案。

傳統(tǒng)真空模式雖能大幅降低氧氣含量，但高真空抽氣過程能耗巨大；單一充氮模式則存在氣體置換不殘留氧氣易引發(fā)局部氧化的風(fēng)險(xiǎn)。雙模式防護(hù)技術(shù)通過智能切換兩種模式，實(shí)現(xiàn)優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)。在預(yù)處理階段，設(shè)備優(yōu)先啟動(dòng)真空模式，利用多級(jí)真空泵快速抽氣，將箱內(nèi)氣壓降至 10?3 Pa 量級(jí)，快速排出大部分空氣；當(dāng)真空度達(dá)到設(shè)定閾值后，自動(dòng)切換至充氮模式，以 0.1 - 0.3 m3/min 的流速充入高純氮?dú)猓兌取?9.99%），進(jìn)一步稀釋殘留氧氣，并在箱內(nèi)形成正壓環(huán)境（約 5 - 10 kPa），防止外界空氣滲入。這種階梯式氣氛調(diào)控，使箱內(nèi)氧含量可低至 10 ppm 以下，顯著提升防氧化效果。